神奈川工科大学電気電子情報工学科ウェブサイト
研究設備

電気電子情報工学科の研究設備はとても充実しています。独創的なアイデアと充実した研究設備を駆使して、高いレベルの研究に取り組めます。

FTIR
FTIR
ガスクロマトグラフ質量分析計
ガスクロマトグラフ質量分析計

クリンルームRIE装置
クリンルームRIE装置
スキャニングモビリティパーティクルサイザー
スキャニングモビリティパーティクルサイザー

三元スパッタ装置
三元スパッタ装置
熱化学蒸着装置
熱化学蒸着装置

板子研究室設備【 太陽電池模擬電源装置1kW 日本カーネル社製】
板子研究室設備【 太陽電池模擬電源装置1kW 日本カーネル社製】

ルチターゲットスパッタリング装置
マルチターゲットスパッタリング装置

総合実験研究センター D3号館 (他学科との共用)

5F:超高速光機能回路室(測定室)
2F:ナノテクノロジー室(クリーンルーム)

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2F ナノテクノロジー室
○加工室...クラス:~100,000
金属、誘電膜、磁性膜などの成膜およびエッチング加工
○分析室...クラス:~10,000
熱処理、基板処理、寸法および形状評価、特性評価
○ホト室...クラス:~1,000
基板処理、表面観察、紫外線露光、電子線描画

加工室

ホト室


2F 超高速光機能回路研究室
光導波路デバイス 特性測定評価システム

2次元複屈折評価システム WPA-micro


光偏光解析システム
光偏光解析システム

ネットワークアナライザ
ネットワークアナライザ

誤り率測定システム
誤り率測定システム



シミュレータ

○Beam Prop...BPM法による導波路伝搬解析 logo-cybernet-rsoft.jpg
○VirtualLab...反復フーリエ変換法による回析光学素子の特性解析 logo-lighttrans.jpg
○CodeV...光学設計ツール logo-codeV.jpg